研究證明超聲波除銹、漂洗效果好壞取決于空化作用，而空化作用的產生與超聲強度有關。通常在單位面積超聲功率0.3/cm2水溶介質就能產生空化。在一定范圍內超聲強度越大空化作用越明顯，一般在清洗是功率密度選為1~1.2w/cm2為宜。
超聲波振動頻率對于清洗效果有很大影響，同等功率情況下低頻率時易于激化空化，即16~25khz空化作用最好。表面處理時對于油污、銹跡比較嚴重的大中型機械零件采用16~20khz低頻為宜，對于一些表面清潔度要求高且有盲孔、絲孔的零件采用26khz為宜。
超聲波清洗機溫度是影響清洗速度的重要因素，適當提高清洗溫度可增加空化能力、縮短清洗時間，但超過一定溫度，由于蒸氣壓力增加反而降低空化作用，因此必須保持一定的溫度。試驗表明水溶性介質一般在50℃±5效果最佳。
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